体流量传感器专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计。采用热导原理测量并制作，独特的芯片封装技术可满足各类小管径测量。成本低、易安装。

管径涵盖1mm至25mm，测量范围从0.1sccm至500SLPM，并适用于各类清洁气体。